硅片電阻率測試模組是一款測量圓柱晶體硅電阻率測試儀器，可測量硅芯，檢磷棒，檢硼棒，籽晶等，由于儀器大大消除了珀爾帖效應(yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等負效應(yīng)的影響，因此測試精度大大提高，量程實現(xiàn)了電阻率從10-4歐姆 . 厘米到10+4歐姆.厘米（可擴展）的測試范圍。因此儀器具有測量精度高、穩(wěn)定性好、測量范圍廣、結(jié)構(gòu)緊湊、使用方便等特點。是西門子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)、物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)、光伏及半導(dǎo)體材料廠、器件廠、科研部門、高等院校以及需要超大量程測試電阻率測試的企業(yè)的最佳幫手。
硅片電阻率測試模組的使用特點：
1、適合檢測硅芯，檢磷棒，檢硼棒，籽晶等圓柱晶體硅；
2、適用于西門子法、硅烷法等工藝生產(chǎn)原生多晶硅料的企業(yè)；
3、適用于物理提純生產(chǎn)多晶硅料生產(chǎn)企業(yè)；
4、適用于光伏拉晶鑄錠及 IC 半導(dǎo)體器件企業(yè)；
5、適用于科研部門、高等院校及需要超大量程測量電阻率的企業(yè)；
6、儀器消除了珀爾帖效應(yīng)、塞貝克效應(yīng)、少子注入效應(yīng)等負效應(yīng)的影響，因此測試精度大大提高；
7、測量精度高，除了具有厚度修正功能外、還有溫度修正、圓片直徑修正等功能；
8、良好的設(shè)計能有效消除測量引線和接觸電阻產(chǎn)生的誤差， 實現(xiàn)了測量的高精度和極寬的量程范圍；
9、雙數(shù)字表結(jié)構(gòu)使測量更精確，操作更簡便；
10、具有強大的測試數(shù)據(jù)查詢及打印功能；
11、測量系統(tǒng)可實現(xiàn)自動換向測量、求平均值、最大值、最小值、平均百分變化率等；
12、四探針頭采用進口紅寶石軸套導(dǎo)向結(jié)構(gòu)，使探針的游移率減小，測量重復(fù)性大大提高；
13、采用進口元器件，留有更大的安全系數(shù)，大大提高了測試儀的可靠性和使用壽命；
14、具有正測反測的功能，保證測試結(jié)果的準確性；
15、具有抗強磁場和抗高頻設(shè)備的性能。
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