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在半導(dǎo)體制造業(yè)中，晶圓作為芯片的基礎(chǔ)載體，其表面質(zhì)量直接決定了最終產(chǎn)品的性能和可靠性。晶圓在生產(chǎn)過(guò)程中，由于多種因素的影響，如材料純度、制造工藝、設(shè)備精度等，表面可能會(huì)出現(xiàn)各種缺陷，如劃痕、顆粒污染、裂紋、氧化層異常等。這些缺陷不僅會(huì)降低芯...
隨著納米技術(shù)的進(jìn)步和薄膜工藝的發(fā)展(太陽(yáng)能電池，CVD，PVD，DLC，MEMS等)，納米力學(xué)測(cè)試已成為標(biāo)準(zhǔn)方法。這種方法改進(jìn)了傳統(tǒng)硬度測(cè)試的不足，通過(guò)J尖的壓劃頭，高的空間分辨率和較精確的原位載荷-位移數(shù)據(jù)，可以較精確測(cè)量小載荷和淺壓痕條件下的材料力學(xué)測(cè)試。納米壓痕-單一/多次壓痕，根據(jù)ISO14577測(cè)量薄膜、涂層和塊體材料的硬度，楊氏模量，拉伸和vonMises應(yīng)力，接觸剛度等。納米劃痕-采用恒定、漸進(jìn)和用戶自定義可編程加載方式，評(píng)價(jià)薄膜、涂層和塊體材料的劃痕硬度和劃痕...
白光干涉儀是目前三維形貌測(cè)量領(lǐng)域精度最高的檢測(cè)儀器之一。在同等放大倍率下，測(cè)量精度和重復(fù)性都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡。在一些納米或者亞納米級(jí)別的超高精度加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀，其它儀器達(dá)不到檢測(cè)的精度要求。原理：它是利用干涉原理測(cè)量光程之差從而測(cè)定有關(guān)物理量的光學(xué)儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會(huì)非常靈敏地導(dǎo)致干涉條紋的移動(dòng)，而某一束相干光的光程變化是由它所通過(guò)的幾何路程或介質(zhì)折射率的變化引起，所以通過(guò)干涉條紋的移動(dòng)變化可測(cè)量幾何長(zhǎng)度或折射率的微小改變量，從而測(cè)得...
隔振臺(tái)是一款緊湊型模塊化的主動(dòng)隔振系統(tǒng)，可在寬頻率范圍內(nèi)為電子顯微鏡和類(lèi)似的大型研究?jī)x器提供業(yè)界先進(jìn)的主動(dòng)隔振性能。本產(chǎn)品通過(guò)消除影響測(cè)量的破壞性低頻振動(dòng)噪聲，幫助用戶從顯微鏡上獲得更多收益，并且平臺(tái)采用了低調(diào)的模塊化設(shè)計(jì)，無(wú)需為大多數(shù)儀器安裝所需的升降設(shè)備，從而簡(jiǎn)化了安裝過(guò)程。適用于各類(lèi)大型電子顯微鏡AEM、SEM、ATM、TEM，干擾儀防震臺(tái)，輪廓儀防震臺(tái)，電子太平防震臺(tái)，超快激光系統(tǒng)防震臺(tái)，時(shí)頻系統(tǒng)防震臺(tái)，大型半導(dǎo)體設(shè)備防震臺(tái)，激光設(shè)備主動(dòng)防震！工作原理：安裝有測(cè)量和制...
近年來(lái)，隨著儀器行業(yè)的不斷發(fā)展，白光干涉儀在市場(chǎng)上得到了快速地發(fā)展。由于其突出的表現(xiàn)，受到了廣泛用戶的青睞。目前本產(chǎn)品可以廣泛地應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、微納材料及制造、航空航天等，下面我們就來(lái)具體的了解一下這款儀器！白光干涉儀能夠在同一測(cè)試平臺(tái)上運(yùn)行多種測(cè)試，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對(duì)樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測(cè)，模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化。多項(xiàng)技術(shù)的整合能夠使不同技術(shù)在同一檢測(cè)儀上充分發(fā)揮各自的優(yōu)勢(shì)。該項(xiàng)整合技術(shù)不僅有利于數(shù)據(jù)的綜合分析，也可以減少維護(hù)成...
什么是隔振？對(duì)于來(lái)自于構(gòu)造物內(nèi)部或外部的給構(gòu)造物帶來(lái)影響的振動(dòng)施以控制力，以減輕振動(dòng)，這就是隔振。隨著工業(yè)的快速發(fā)展，為了去除給測(cè)量裝備帶來(lái)影響的振動(dòng)，人們開(kāi)發(fā)了隔振臺(tái)。而給隔振臺(tái)的隔振效果帶來(lái)影響的有兩個(gè)因素，分別是振動(dòng)絕緣體的固有振動(dòng)頻率(NaturalFrequency)和阻尼(Damping)。固有振動(dòng)頻率是指某種物體共振的頻率，阻尼則是指在振動(dòng)運(yùn)動(dòng)計(jì)中消除能量，以減輕振動(dòng)的特點(diǎn)。隔振臺(tái)就是用來(lái)隔絕外界和儀器之間的震動(dòng)傳遞，主要是看幾個(gè)方面的參數(shù)：隔振頻率，隔振方式（...